廢ITO靶材回收的核心挑戰(zhàn)在于:
成分復雜:除In?O?、SnO?外,含粘結劑、金屬背板(銅/鉬)等。
高純度要求:再生銦純度需達99.99%以上,雜質含量需嚴格控制在ppm級,否則影響新靶材性能。
銦錫分離:分離銦錫是實現(xiàn)價值化的關鍵。
閉環(huán)工藝:價值再造的精益之路
成熟閉環(huán)流程包括:
機械剝離:物理分離靶材與金屬背板。
溶解富集:酸溶(如鹽酸)將銦、錫浸出,固液分離。
銦錫深度分離:
選擇性沉淀:控制pH值分步沉淀錫、銦化合物。
溶劑萃?。篜507等萃取劑優(yōu)先萃銦,實現(xiàn)銦錫分離,回收率>95%。
高純銦制備:萃取液反萃 → 電解/置換得粗銦 → 真空蒸餾/區(qū)域熔煉 → 4N以上精銦。
再生靶材制造:精銦氧化 → 與氧化錫混合 → 成型燒結 → 新ITO靶材。
產業(yè)意義:從成本中心到價值引擎
ITO靶材的基本介紹:
主要成分:氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)
應用領域:液晶顯示、OLED、太陽能電池、觸摸屏等
靶材類型:新靶材、廢靶材(使用后剩余靶材)
ITO靶材回收流程:
1. 收集廢靶材:收集來源:面板廠、鍍膜廠等使用ITO靶材的企業(yè)。
2. 表面處理/預處理 :清洗表面雜質、油污、物理去除殘留膜層
3. 靶材分離:機械切割或分解、分離金屬基板與ITO涂層
4. 濕法冶金回收:用酸(如硝酸、鹽酸等)溶解ITO層、萃取液中回收銦和錫元素
5. 純化與精煉 萃取、沉淀等精細化學手段,獲得高純度的銦、錫化合物
6. 再利用 提純后的銦、錫用于制備新ITO靶材或其他用途