載板電鍍核心工藝類型
在了解檢測標(biāo)準(zhǔn)前,需先明確載板電鍍的關(guān)鍵場景,不同工藝的檢測重點略有差異:
種子層電鍍:通常為薄層高純度銅(1-3μm),用于后續(xù)圖形電鍍的導(dǎo)電基底,要求低電阻、無針孔;
圖形電鍍:核心工藝,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅(5-20μm,甚至更高),實現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐;
凸點(Bump)電鍍:如銅凸點、錫凸點,用于芯片與載板的倒裝焊互連,要求的高度 / 直徑控制;
表面處理電鍍:如鎳(Ni)、鈀(Pd)、金(Au)鍍層(ENEPIG/ENIG 工藝),提升焊盤抗氧化性與鍵合可靠性。
電氣性能:保障信號傳輸與電流承載
載板需滿足高頻、大電流封裝場景,電氣性能是核心指標(biāo)。
鍍層電阻:
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層電阻率≤1.72×10??Ω?m(接近純銅理論值,雜質(zhì)會導(dǎo)致電阻升高);
檢測工具:四探針電阻測試儀。
電遷移抗性:
標(biāo)準(zhǔn):在 1×10?A/cm2 電流密度、125℃環(huán)境下,銅鍍層電遷移失效時間≥1000h(避免長期使用中因金屬遷移導(dǎo)致短路);
檢測方法:JEDEC JESD22-A108 電遷移測試標(biāo)準(zhǔn)。
載板電鍍的質(zhì)量檢測需圍繞 “高精度、高可靠性、高純度” 展開,通過多維度檢測(幾何、附著、微觀、電氣、環(huán)境)確保滿足先進(jìn)封裝的嚴(yán)苛需求,同時需結(jié)合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)與下游定制要求動態(tài)調(diào)整檢測方案。
石墨烯孔金屬化工藝是與傳統(tǒng)化學(xué)銅,黑影/日蝕等平行的線路板孔金屬化技術(shù),屬于直接電鍍工藝,其特點可靠,低成本,低碳環(huán)保節(jié)能降耗,可循環(huán)再利用。