載板電鍍是先進封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測標準遠高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
鍍層微觀質(zhì)量:避免內(nèi)部缺陷影響可靠性
載板鍍層的致密度、純度直接影響電氣性能(如電阻、遷移風險)和耐腐蝕性。
孔隙率:
標準:銅鍍層孔隙率≤1 個 /cm2(用酸性硫酸銅溶液測試,孔隙會析出銅粉);鎳層孔隙率≤0.5 個 /cm2;
檢測工具:孔隙率測試儀、SEM(觀察微觀孔洞)。
晶粒結(jié)構(gòu):
標準:銅鍍層晶粒均勻,平均晶粒尺寸 50-200nm(晶粒過粗易導致鍍層脆化,過細易產(chǎn)生應力);
檢測工具:透射電鏡(TEM)、X 射線衍射儀(XRD)。
雜質(zhì)含量:
標準:高純度銅鍍層(99.99% 以上),雜質(zhì)(如 Fe、Zn、Pb)總含量≤50ppm;鎳鍍層雜質(zhì)總含量≤100ppm;
檢測工具:電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)。
電氣性能:保障信號傳輸與電流承載
載板需滿足高頻、大電流封裝場景,電氣性能是核心指標。
鍍層電阻:
標準:銅鍍層電阻率≤1.72×10??Ω?m(接近純銅理論值,雜質(zhì)會導致電阻升高);
檢測工具:四探針電阻測試儀。
電遷移抗性:
標準:在 1×10?A/cm2 電流密度、125℃環(huán)境下,銅鍍層電遷移失效時間≥1000h(避免長期使用中因金屬遷移導致短路);
檢測方法:JEDEC JESD22-A108 電遷移測試標準。
石墨烯孔金屬化工藝是與傳統(tǒng)化學銅,黑影/日蝕等平行的線路板孔金屬化技術,屬于直接電鍍工藝,其特點可靠,低成本,低碳環(huán)保節(jié)能降耗,可循環(huán)再利用。