載板電鍍是先進(jìn)封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實(shí)現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
載板電鍍核心工藝類型
在了解檢測標(biāo)準(zhǔn)前,需先明確載板電鍍的關(guān)鍵場景,不同工藝的檢測重點(diǎn)略有差異:
種子層電鍍:通常為薄層高純度銅(1-3μm),用于后續(xù)圖形電鍍的導(dǎo)電基底,要求低電阻、無針孔;
圖形電鍍:核心工藝,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅(5-20μm,甚至更高),實(shí)現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐;
凸點(diǎn)(Bump)電鍍:如銅凸點(diǎn)、錫凸點(diǎn),用于芯片與載板的倒裝焊互連,要求的高度 / 直徑控制;
表面處理電鍍:如鎳(Ni)、鈀(Pd)、金(Au)鍍層(ENEPIG/ENIG 工藝),提升焊盤抗氧化性與鍵合可靠性。
載板電鍍與傳統(tǒng) PCB 電鍍的核心差異
載板電鍍的標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)苛性遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心差異體現(xiàn)在:
對比維度 傳統(tǒng) PCB 電鍍 載板電鍍
線寬 / 焊盤尺寸 通?!?0μm 常<20μm(超細(xì)線路)
鍍層厚度偏差 ≤±15% ≤±10%(部分場景≤±8%)
附著力要求 ≥0.5N/mm(銅鍍層) ≥0.8N/mm(銅鍍層)
雜質(zhì)含量 總雜質(zhì)≤100ppm 總雜質(zhì)≤50ppm(高純度)
可靠性測試時(shí)長 濕熱試驗(yàn) 500h 濕熱試驗(yàn) 1000h
相比黑影/日蝕,黑孔,導(dǎo)電膜等其他空金屬化工藝,石墨烯孔金屬化工藝采用二維材料高導(dǎo)電-石墨烯材料作為導(dǎo)電材料,高導(dǎo)電,超薄,吸附性強(qiáng);物理性吸附;
石墨烯超低固含量0.01%-0.5%,徹底避免黑影,日蝕,黑孔等工藝常見的ICD異常問題;
在導(dǎo)通測試中,阻值變化為1.43%,IPC標(biāo)準(zhǔn)≤10%;在極限熱沖擊測試中,沉銅27次,石墨烯孔金屬化工藝31次;