檢測方案:是潔凈實驗室-生物實驗室長期運行的保證。由于潔凈實驗室-生物實驗室的特殊性,除了進行嚴格的設計、施工、調試外,為確保其性,必須對其進行必要的工程檢測和嚴格的驗收,達到要求和使用要求后才可投入運行。另外,使用過程中的一些因素,如非專業的管理和使用,過濾器的更換等,都會對實驗室的性產生影響,因此,使用中的定期檢測與同樣重要。
無塵車間里存在大量可以節約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。率的設計和率設備需要很大的前期投入。那種“小處節約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造
2.地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板。
4.送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網板用烤漆鋁板。
