鋼結構制作、安裝的工業化程度高
鋼結構的制作主要是在專業化金屬結構廠進行,因而制作簡便,精度高。制成的構件運到現場安裝,裝配化程度高,安裝速度快,工期短。
密封性
鋼材內部組織很致密,當采用焊接連接,甚至采用鉚釘或螺栓連接時,都容易做到緊密不滲漏。
耐火性
當鋼材表面溫度在150℃以內時,鋼材的強度變化很小,因此鋼結構適用于熱車間。當溫度超過150 ℃時,其強度明顯下降。當溫度達到500—600t時,強度幾乎為零。所以,發生火災時,鋼結構的耐火時間較短,會發生突然的坍塌。對有特殊要求的鋼結構.要采取隔熱和耐火措施。
耐腐蝕性
鋼材在潮濕環境中,特別是處于有腐蝕性介質環境中容易銹蝕,需要定期維護,增加了維護費用。
凈室,又稱無塵室、潔凈室或清凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經過的(如沒有受控的微生物),更在意的是凈室中的灰塵。
所需的外氣較多由于半導體工廠中,制程系統需使用大量的化學品和毒氣,這些化學品和毒氣所產生的揮發氣體和廢氣必須予以全數排除,故排氣量相當大,為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大,此時所補充的空氣量亦隨之增加。
空調系統24小時全天運轉并監控管理半導體工廠部分制程設備,對溫濕度變化極為敏感,如黃光區Stepper光學機臺,些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差,另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下,故空調系統必須24小時監控管理之。
