1、高純氟化鏑(鍍膜材料，顆粒狀，片狀，粉末)加工工藝流程

原料

提 純

檢測

加工成型

熱 處 理

選用進口或

國產高純氟化鏑

CVD,濕法提純，THM等。

碳硫氧氮分析，ICP，XRD，GDMS。

球磨，造粒， 壓片，制粉。

熱壓燒結，

真空燒結等。

分 篩

成品檢測

合格

包裝出庫

交付客戶

超聲波振動篩

成品外觀，

純度，粒度。

專用包裝

2、適用方向及應用領域

2-1適用方向：

2-2應用領域：生產及科研應用領域。

3、規格

3-1 材質：氟化鏑DyF3

3-2 純度：99.99%，99.999%，99.9999%。

3-3 粒度：60nm，80nm,1微米，5微米，10微米，1-3mm，3-5mm規格也可根據客戶要求定做。

3-4密度：7.465g/cm3

3-5