載板電鍍是一種高精度、性、高復(fù)雜度的電鍍加工工藝,可以廣泛應(yīng)用于電子、通訊、光電、汽車等行業(yè)。掌握載板電鍍的基本原理、工藝流程、適用范圍和注意事項(xiàng),可以有效提高金屬結(jié)構(gòu)的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
載板電鍍是先進(jìn)封裝載板(如 IC 載板、扇出型封裝載板等)制造中的核心工藝,其質(zhì)量直接決定載板的電氣性能、可靠性及封裝良率。由于載板需實(shí)現(xiàn)高密度互連(HDI)、超細(xì)線路 / 焊盤(線寬 / 線距常<20μm)及承載芯片的高可靠性要求,其電鍍工藝及質(zhì)量檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)遠(yuǎn)高于傳統(tǒng) PCB,核心圍繞 “鍍層均勻性、致密度、附著力、純度” 四大維度展開
載板電鍍核心工藝類型
在了解檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)前,需先明確載板電鍍的關(guān)鍵場(chǎng)景,不同工藝的檢測(cè)重點(diǎn)略有差異:
種子層電鍍:通常為薄層高純度銅(1-3μm),用于后續(xù)圖形電鍍的導(dǎo)電基底,要求低電阻、無針孔;
圖形電鍍:核心工藝,在線路 / 焊盤區(qū)域電鍍厚銅(5-20μm,甚至更高),實(shí)現(xiàn)電流傳輸與芯片鍵合支撐;
凸點(diǎn)(Bump)電鍍:如銅凸點(diǎn)、錫凸點(diǎn),用于芯片與載板的倒裝焊互連,要求的高度 / 直徑控制;
表面處理電鍍:如鎳(Ni)、鈀(Pd)、金(Au)鍍層(ENEPIG/ENIG 工藝),提升焊盤抗氧化性與鍵合可靠性。
電氣性能:保障信號(hào)傳輸與電流承載
載板需滿足高頻、大電流封裝場(chǎng)景,電氣性能是核心指標(biāo)。
鍍層電阻:
標(biāo)準(zhǔn):銅鍍層電阻率≤1.72×10??Ω?m(接近純銅理論值,雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致電阻升高);
檢測(cè)工具:四探針電阻測(cè)試儀。
電遷移抗性:
標(biāo)準(zhǔn):在 1×10?A/cm2 電流密度、125℃環(huán)境下,銅鍍層電遷移失效時(shí)間≥1000h(避免長(zhǎng)期使用中因金屬遷移導(dǎo)致短路);
檢測(cè)方法:JEDEC JESD22-A108 電遷移測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。